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发布日期:2024-04-29 05:14    点击次数:63

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本站音书,凭证企查查数据清晰芯联集成(688469)新赢得一项实用新式专利授权,专利名为“用于晶圆贬责修复的吹扫安设及晶圆贬责系统”,专利恳求号为CN202322426086.1,授权日为2024年4月5日。

专利摘抄:本实用新式提供了一种用于晶圆贬责修复的吹扫安设及晶圆贬责系统,所述晶圆贬责修复包括晶圆存储单位和晶圆贬责单位,所述晶圆存储单位用于存储晶圆,所述晶圆贬责单位用于对所述晶圆进行加工贬责;所述吹扫安设包括:气源,所述气源用于提供惰性气体;流量适度阀,所述流量适度阀的进气口与所述气源连通,所述流量适度阀的出气口与所述晶圆存储单位连通;检测单位,所述检测单位用于对所述晶圆加工贬责的程度进行检测;适度器,所述适度器与所述检测单位一语气,用于凭证所述检测单位的检测效果适度所述流量适度阀的开闭。凭证本实用新式的用于晶圆贬责修复的吹扫安设及晶圆贬责系统大要显耀镌汰惰性气体破钞,镌汰资本。

本年以来芯联集成新赢得专利授权16个,较客岁同时减少了5.88%。聚合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面插足了15.29亿元,同比增82.25%。

数据源流:企查查

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